1. 산업특수가스는 가스가 사용되는 용도에 따라 구분할 수 있는 데 산업용, 반도체용 및 의료가스용 등으로 구분할 수 있다.

• 1) 산업용가스는 일반 산업 공장 등에 사용되는 것으로 그 종류는 알곤, 산소, 질소, 아르곤, 아세틸렌, 탄산가스, 압축수소가스, 헬륨, 일산화탄소, 건조공기, 오전, 수증기, 아산화질소 등이다.
• 2) 주요 반도체 재료 등 가스는 주로 반도체 제조 시 사용되는 가스로 그 종류는 알진, 디보레인, 삼염화불소, 사불화탄소, 삼불화메탄, 육불화에탄, 팔물화프로판, 팔불화시클로부탄, 염소, 게르만, 취화수소, 염화수소, 암모니아, 삼불화질소, 일산화이질소, 호스핀, 디실란, 디클로로실란, 사불화규소, TEOS, 육불화황, 율북화탕그스텐, 유기금속, 기타(염화수소, 셀렌화 수소, 삼불화붕소, 하이드로삼클로로 실란) 등이다.
• 3) 의료가스는 의료용으로 사용되는 것으로 산소, 질소, 이산화탄소, 아산화질소, 소기가스 이외의 혼합가스, 살견가스, 산화에틸렌과 탄산가스의 혼합제제(국방외의약품), 의료용의 산소농축기, 소닉가스, 의료용의 수술기구 등에 이용하는 가스, 대기를 압축한 공기 및 질소, 의료용 임상검사 및 측정기에 이용되는 계기의 교정가스, 생체기능검사용 가스 등 각종혼합가스를 말한다.

2. 고압가스안전관리법상에서 정하는 산업특수가스의 분류는 특정고압가스, 특수고압가스, 가연성가스 및 독성가스로 정의하고 있다.

• 1) 고압가스안전관리법 제20조에 수소 〮 산소 〮 액화암모니아 〮 아세틸렌 〮 액화염소 〮 천연가스 〮 압축모노실란 〮 압축디보레인 〮 액화알진 그 밖에 대통령령으로 정하는 고압가스를 “특정고압가스”라고 정하고 있다. 그리고 고압가스안전관리법 시행령 제16조에 법 제20조에서 대통령으로 정하는 고압가스는 포스핀, 셀렌화수소, 게르만, 디실란, 오불화비소, 오불화인, 삼불화인, 삼불화질소, 삼불화붕소, 사불화유황, 사불화규소를 특정고압가스로 정하고 있다.
• 2) 특수고압가스는 고압가스안전관리법 시행규칙 제2조(정의)에 압축모노실란 〮 압축디보레인 〮 액화알진 〮 포스핀 〮 세렌화수소 〮 게르만 〮 디실란 및 그 밖에 반도체의 세정 등 지식경제부장관이 인정하는 특수한 용도에 사용되는 고압가스를 말한다고 정의되어 있다.
• 3) 고압가스안전관리법 시행규칙 제2조(정의)에 가스를 “가연성가스” 와 “독성가스” 로 구분한다.
  가. “가연성 가스”란 아크릴니트릴 〮 아크릴알데히드 〮 아세트알데히드 〮 아세틸렌 〮 암모니아 〮 수소 〮 황화수소 〮 시안화수소 〮 일산화탄소 〮 이황화탄소 〮 메탄 〮 염화메탄 〮 브롬화메탄 〮 에탄 〮 염화에탄 〮 염화비닐 〮 에틸렌 〮 산화에틸렌 〮 프로판 〮 사클로프로판 〮 프로필렌 〮 산화프로필렌 〮 부탁 〮 부타디엔 〮 부틸렌 〮 메틸에테르 〮 모노메틸아민 〮 디메틸아민 〮 트리메틸아민 〮 에틸아민 〮 벤젠 〮 에틸벤젠 및 그 밖에 공기 중에서 연소하는 가스로서 폭발한계(공기와 혼합된 경우 연소를 일으킬 수 있는 공기 중의 가스 농도의 한계를 말한다. 이하 같다)의 하한이 10퍼센트 이하인 것과 폭발한계의 상한과 하한의 차가 20퍼센트 이상인 것을 말한다.
• 나. “독성가스”란 아크릴로니트릴 〮 아크릴알데히드 〮 아황산가스 〮 암모니아 〮 일산화탄소 〮 이황화탄소 〮 불소 〮 염소 〮 브륨화메탄 〮 염화메탄 〮 염화프렌 〮 산화에틸렌 〮 시안화수소 〮 황화수소 〮 모노메틸아민 〮 디메틸아민 〮 벤젠 〮 포스겐 〮 요오드화수소 〮 브륨화수소 〮 염화수소 〮 불화수소 〮 겨자가스 〮 알진 〮 모노실란 〮 디실란 〮 디보레인 〮 세렌화수소 〮 포스핀 〮 모노게르만 및 그 밖에 공기 중에 일정량 이상 존재하는 경우 인체에 유해한 독성을 가진 가스로서 허용농도(해당 가스를 성숙한 흰쥐 집단에게 대기 중에서 1시간 동안 계속하여 노출시킨 경우 14일 이내에 그 흰쥐의 2분의 1 이상이 죽게 되는 가스의 농도를 말한다. 이하 같다)가 100만분의 5000 이하인 것을 말한다.